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ATV真空回流爐的基本組成
日期：2025-09-01 15:06
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摘要：
ATV真空回流爐包括以下幾個結(jié)構(gòu)：氣路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)、測量系統(tǒng)和**系統(tǒng)：
氣路系統(tǒng)
N2有三路：一路通到工藝腔體；一路作為氣冷通入冷卻管（和水冷一個管道）；一路通到真空泵gas ballast，作為提高真空泵壓縮比的功能。 H2有一路，通到腔體內(nèi)。H2/N2一路，通道腔體內(nèi)。
冷卻系統(tǒng)
分為內(nèi)循環(huán)和外循環(huán) 內(nèi)循環(huán)：設(shè)備內(nèi)部有個水箱，內(nèi)裝有DI water，通過水泵將水箱里面水進行循環(huán)，用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環(huán)：客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。
加熱系統(tǒng)
ATV真空回流爐包括主加熱和邊緣加熱。
主加熱也就是整個加熱板。占加熱的95%。
邊緣加熱是在熱板的四周追加邊緣加熱絲，為了更好的提高熱板的均勻性，增大工藝有效面積。
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